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技術文章

薄膜的網絡階段

在小島合并為新島的生長過程中,它的形狀變為圓形的傾向減小,只是在新島進一步合并的地方才繼續發生較大的變形,當島的分布達到臨界狀態時互相聚結形成一種網狀結構。在這種結構中不規則的分布著寬度為50A-200A的溝渠,隨著沉積的繼續進行,在溝渠中會發生二次或三次成核,當核長大到與溝渠邊緣接觸時就合并到網狀結構的薄膜上。與此同時,在某些地方,溝渠被聯成橋形,并以類似液體的形式很快地被填充.其結果是大多數溝渠很快被消除,薄膜由溝渠就變為有小孔洞的連續狀結構。在這些小孔洞處再發生二次或三次成核。有些核直接與薄膜合并在一起,有些核長大后形成二次小島,這些小島再合并到薄膜上。

因為核或島的合并都有類似液體的特點。這種特性能使溝渠和孔洞很快消失。*消除高表面曲率區域,使薄膜的總表面自由能達到最小。

 

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